產(chǎn)品/Leybold
LEYSPEC view 100 殘余氣體分析儀RGA
秉承萊寶Phoenix氦質(zhì)普檢漏儀精準(zhǔn)、穩(wěn)定、長(zhǎng)使用壽命等優(yōu)點(diǎn)，萊寶真空2018年12月全新推出LEYSPEC系列RGA殘余氣體分析儀，為半導(dǎo)體 、鍍膜、冷凍干燥、熱處理及科研等行業(yè)提供了更多的過(guò)程控制分析診斷支持.萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA的典型用途:檢漏判斷真空品質(zhì)檢測(cè)工藝氣體提高品質(zhì)和良品率故障診斷分析判斷低溫泵再生周期產(chǎn)品類別 產(chǎn)品系列分別提供了100、200、300原子質(zhì)量單位的解決方案。LEYSPEC view版特別適用于高真空設(shè)備，科研、環(huán)境氣氛...
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秉承萊寶Phoenix氦質(zhì)普檢漏儀精準(zhǔn)、穩(wěn)定、長(zhǎng)使用壽命等優(yōu)點(diǎn)，萊寶真空2018年12月全新推出LEYSPEC系列RGA殘余氣體分析儀，為半導(dǎo)體 、鍍膜、冷凍干燥、熱處理及科研等行業(yè)提供了更多的過(guò)程控制分析診斷支持.
萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA的典型用途:
檢漏
判斷真空品質(zhì)
檢測(cè)工藝氣體
提高品質(zhì)和良品率
故障診斷分析
判斷低溫泵再生周期
產(chǎn)品類別
產(chǎn)品系列分別提供了100、200、300原子質(zhì)量單位的解決方案。
LEYSPEC view版特別適用于高真空設(shè)備，科研、環(huán)境氣氛檢測(cè)及追蹤中的殘余氣體分析。
LEYSPEC ultra版用于復(fù)雜的殘余氣體分析，靈敏度高，耐烘烤溫度高，可檢分壓低。
更多信息請(qǐng)聯(lián)系萊寶官方授權(quán)：安博元科技 0510-8510-0806 info@anboyuan.com
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萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA 客戶受益：
過(guò)程可控
LEYSPEC自帶數(shù)顯，易于現(xiàn)場(chǎng)管理
贈(zèng)送軟件易于使用及分析并有報(bào)警功能
萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA的典型應(yīng)用：
半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備
鍍膜、顯示行業(yè)
真空熱處理
真空干燥
研發(fā)
Leybold Name | LEYSPEC view 100 | LEYSPEC view 100S | LEYSPEC view 200 | LEYSPEC view 200S | LEYSPEC ultra 200S | LEYSPEC ultra 300S |
Mass Range (amu) | 1-100 | 1-100 | 1-200 | 1-200 | 1-200 | 1-300 |
Mass filter type | QMS | QMS | QMS | QMS | QMS | QMS |
detector type | Faraday cup | EM/Faraday Cup | Faraday cup | EM/Faraday Cup | EM/Faraday Cup | EM/Faraday Cup |
Sensitivity (A/mbar) | 1x10-5 | 400/1x10-5 | 1x10-5 | 400/1x10-5 | 400/2.5x10-4 | 400/2.5x10-4 |
Minimum detectable | 1x10-10 | 1x10-14 | 1x10-10 | 1x10-14 | 1x10-11 | 1x10-12 |
Max operating pressure (mbar) | 1x10-4 | 1x10-4 | 1x10-4 | 1x10-4 | 1x10-4 | 1x10-4 |
Filament material | Ir/Y2O3 | Ir/Y2O3 | Ir/Y2O3 | Ir/Y2O3 | Ir/Y2O3 | Ir/Y2O3 |
operating temp (°C) | 10-40 | 10-40 | 10-40 | 10-40 | 10-40 | 10-40 |
Max sensing temp (°C) | 120 | 120 | 120 | 120 | 250 | 250 |
Max. bake out temp (elec. removed) (°C) | 250 | 250 | 250 | 250 | 300 | 300 |
connection flange | DN40CF | DN40CF | DN40CF | DN40CF | DN40CF | DN40CF |
Power input | DC24V +-10% 50W | DC24V +-10% 50W | DC24V +-10% 50W | DC24V +-10% 50W | DC24V +-10% 50W | DC24V +-10% 50W |
Weight (kg) | 2,6 | 2,84 | 2,6 | 2,84 | 3,21 | 3,21 |
IP | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 |
Serial communication | RS232C/RS485 | RS232C/RS485 | RS232C/RS485 | RS232C/RS485 | RS232C/RS485 | RS232C/RS485 |
Software | ECA | ECA | ECA | ECA | ECA | ECA |
Resolution | M/DeltaM=1M(10%PH) | M/DeltaM=1M(10%PH) | M/DeltaM=1M(10%PH) | M/DeltaM=1M(10%PH) | M/DeltaM=1M(10%PH) | M/DeltaM=1M(10%PH) |
